中图仪器国产NS台阶仪0.01埃分辨率，5Å超高精度精准测量微观检测微观轮廓。搭载线性可变差动电容传感器（LVDC），一站式解决半导体、光伏、MEMS等精密制造与科研领域的多场景微观参数检测需求。
一、测量功能
1.台阶高度测量：精准量化蚀刻、溅射、沉积、CMP等工艺的材料沉积/去除量，保障工艺稳定性与一致性。
2.粗糙度&波纹度分析：通过微观轮廓曲线计算多维度参数，满足高精密产品质量管控要求。
3.表面应力检测：兼容金属、薄膜、微纳材料等多种材质，为材料性能评估与研发创新提供关键数据。
4.单区域快速检测：影像导航定位，聚焦后一键启动，快速完成单点精准测量，适配小批量样品检测。
5.多区域批量测量：阵列式扫描路径设置，横向纵向自由调整，批量样品自动完成全点位检测，提升检测效率30%以上。
6.3D可视化呈现：自动完成扫描面全覆盖检测与3D图像重建，微观形貌直观可溯，便于工艺问题排查。
7.SPC统计分析：生成批量数据变化趋势图表，为质量追溯与工艺优化提供数据依据，助力精益生产。
二、产品优势
1.超高精度，数据无偏差
13μm量程下实现0.01埃分辨率，5Å超高解析力，精准捕捉几纳米至几百微米的台阶形貌，为严苛检测标准提供硬核数据支撑。
2.检测全，无需多设备
同步完成台阶高度（纳米-1050μm）、表面粗糙度（Ra/Rz等数十项参数）、膜层厚度及应力分布测量，覆盖工艺全流程检测需求，简化操作流程。
3.全域适配，降低投入成本
不受被测样品反射率、材料种类、硬度限制，广泛适配半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件等多行业，避免设备闲置浪费。
4.智能高效，提升检测产能
支持单区域、多区域批量测量及3D可视化重建，搭配SPC统计分析功能，批量样品一键检测，数据趋势直观呈现，减少人工干预。
三、应用案例
中图仪器国产NS台阶仪具有精准、高效、适配性强的核心优势。如需针对您的行业场景定制测量方案、获取详细参数或申请样品测试，欢迎随时联系中图仪器。
（注：产品参数与功能可能随技术升级更新，具体以实际沟通为准）
