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仪表网>产品库>实验仪器>其他实验仪器>其它仪器>美国 Cascade M150探针台
  • 美国 Cascade M150探针台

美国 Cascade M150探针台

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新时间2018-05-15
  • 厂商性质经销商
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量32
  • 人气值1393
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 上海纳腾仪器有限公司是从事扫描探针显微镜(SPM)销售的专业公司。公司作为俄罗斯NT-MDT在中国大陆及港、澳地区的经销商(RESELLER),在扫描探针显微镜(SPM)领域有多年的实践经验,拥有一支成熟的销售、技术团队,迄今已累计销售超过100台(套)仪器。

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美国 Cascade M150探针台
美国 Cascade M150探针台 产品详情

 仪器简介:

    Cascade Microtech 的 M150测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计,提供了众多的配置可能性,旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。M150 可提供三种预配置的探针台,均针对您的应用及预算而优化。您可以通过确定自己当前需要的 M150 模块来设计*的探针台,或对自己现用的 M150 进行升级以满足未来的测量需求。

    优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS和光学工程测量;M150也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多达20个探针座。

 



技术参数:


基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面积 Z轴可移动范围 
标准平台 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm 
多功能平台 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平台 XY范围 zui小步长 θ范围 晶圆范围 
真空运行平台 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm 
标准平台 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm 
快速运行平台 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

DUT支架 卡盘 基底 平整度 三轴接头 绝缘层 附加卡盘 
150mm卡盘 150mm真空卡盘 晶圆,陶瓷 <10μm Yes >100GΩ 2个独立的卡盘,且还有一个附加卡盘 
PCB 150mm宽支架 PCB,移动装置 NA NA NA NA

显微镜支架 移动范围(XY) Z方向 zui小步长 
臂式支架 >150mm x 150mm NA NA 
LAHS显微镜支架 150mm x 150mm 可选,zui大为100mm 2μm

 



主要特点:

 1. 结构简单、多功能;


2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米测量;


3. *的模块化设计可根据客户的需要配置和升级;

4. 量程大、可配探针配件;

 

:admin@shnti.com

关键词:标准 显微镜
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