方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻（表面电阻）的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜（ITO透明氧化膜），金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
◆ 特点：
1 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；
2 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；
3 采用单个电池供电，带电池欠压指示；
4 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
5 特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
6 探头带抗静电模块
◆ 技术指标：
测量范围 按方块电阻量值大小分为二个量程档：
1.方块电阻 1.00～199.99Ω/□；
2.方块电阻 10.0～1999.9Ω/□；
恒流源 测量过程误差：≤±0.8%
模数转换器 量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；
测量不确定度 在整个量程范围内，测量不确定度≤5%
四探针探头规格 间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ
电源 9V叠层电池1节
