韩国*数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
优势：
测量质量流量 不需要温度、压力补偿 紧凑的流量控制系统
精度（±0.2%F.S） 耐高压（15公斤） 快速响应时间（＜1秒）
高重复性（±0.25%F.S） 数字通信：RS-485
规格：
| 型号 | MD500C |
| 流量范围（N2） | 300~500 slpm |
| 响应时间 | ＜2秒 |
| 精确度 | ±0.2% |
| 重复精度 | ±0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 通讯信号 | RS485 |
| 供 电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| zui大工作压力 | ＜ 15 bar |
| zui大工作温度 | 0~50℃ |
| 漏 率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范围 | 2~ |
尺寸：
