SM5420 SM5420

概述  
      SM5420 是一个小外型SO-8封 装的不带温度补偿压力传感器，该传 感器使用SMI 公司经过优化的硅微 结构的SM5108 晶圆，并能为如此小 的压力传感器提供比较高的精确度。 这种*性能通过细微电阻安装和 微机械配置以及*的MEMS 加工 技术而得。 
     这种传感器是为大批量使用而 价格又成为关键因素的客户而设计， 如胎压计或者是轮胎气压监测系统。 SM5420 为绝压类型的压力传感器， 满量程范围15psi30psi60psi100psi, 是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷电路板的制造商而设计。
       可以选用带端口的配置或者带孔配置，让进气通过端口上方或者压力 源的正向定位用于感应一般环境压力或者与O 形的密封圈一起使用。该端口方向 已选定以zui小化因恶劣环境中附加的*依赖而造成的压力脉冲直接冲击压力晶 圆正面的几率。该器件对带有凝胶的作为标准，大量订购该器件并需要zui大化稳 定性的可以不带凝胶，比如在气压站、气象站的传感应用。

性能参数
所有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。
                                    zui小值    典型值    zui大值    单位
激励电压源 DC                  0          5.0       10         V
激励电流源 DC                  0         1.0        1.6      mA
满量程输出 PSI （kPa ）
                 15  （103）   95        127      160      mV 
                 30  （207）   65       100       135      mV 
                 6 0 （414）   65       100       135      mV 
                100 （689）   65       100       135      mV 
零点输出                         -35                     35      mV
满量程温度系数                -24        -19     -15.5     %FS/100℃
零点温度系数                    -7         -1        +7        %FS/100℃
电阻温度系数                    +24     +27.5   +33      %/100℃
压力线性度（非线性误差）  -0.20   -0.07    +0.20   %FS
桥臂阻抗                           4           5           6        k Ω
输入电容        <2        pF
耐压               3ⅹ      Rated FS
爆破压力        5 ⅹ      Rated FS
工作温度        -40       +125  ℃
存储温度        -40       +150  ℃

注意：
1、电桥可以被正电压或者负电压激励；正输出适用在正电压激励正压力加载在晶圆上
2、在5V恒定电压激励下测量
3、测量从0 到70℃ 
4、*直线拟合