溅射蒸碳仪是一款经过CE认证的,可以分别进行等离子溅射镀膜及蒸碳涂层机组。它不但可以用等离子进行溅射镀金属膜,也可以用蒸发的方法得到碳的薄膜。GSL1100X-SPC16C 溅射蒸碳仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,zui简单、可靠、经济的镀膜设备。同时增加了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。 满足电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备和非导体材料实验电极制作。 也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。 | |
主要特点: | 装备是在GSL-1100X-SPC-16等离子溅射仪基础上,增加了热蒸发附件,可以蒸发碳丝,具有溅射和蒸发两种功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜实验室样品制备。
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技术参数: | 1、真空样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×110mm(D×H) |