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  • 超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪

550SL3 超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号550SL3
  • 品牌
  • 所在地国外
  • 更新时间2018-05-15
  • 厂商性质代理商
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量99
  • 人气值780
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上海续波光电技术有限公司是一家专业从事高性能薄膜沉积及处理设备、光电材料、光学软件等产品进口的技术贸易服务型公司,公司至今已与欧美、日本等国家的十余家企业建立了战略合作关系;目前服务于国内从事微电子、半导体、光学、纳米技术等领域的研究所和大学。主要产品包括:溅射、蒸发镀膜仪、离子减薄仪、刻蚀机、等离子处理设备、CVD金刚石沉积设备、激光辅助化学束沉积设备,红外窗口材料、各种功能CVD金刚石产品,光学设计、激光仿真、BSDF/BRDF测量仪、电磁场模拟仿真及测量仪器等模拟设计软件等。

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超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪:可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜,目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。 更详细信息或资料,请咨询我们!
超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪 产品详情

预处理腔:衬底旋转、倾斜(3D);真空度10-8 Torr

 

 

蒸发镀膜腔:电子枪6-15KW; 

 

可加载4英寸衬底;衬底旋转、倾斜,精度和重复性优于0.01°(可升级)

 

真空度10-10 Torr或10-11 Torr

频率分辨率10-4 Hz或更高;速率分辨率10-3 nm/s;厚度分辨率10-2 nm

 

氧化腔体:静态/动态氧化(氧气、氮气等); 

真空度<10-8 Torr 
 

全自动软件包,支持半自动和手动模式,支持远程网络操作和维护。 

典型用户:耶鲁大学、日本NTT、中科院物理所等 
欢迎进一步咨询!

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