美国产Plasma Cleaning System

小型实验室等离子表面处理机

    等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备，它是利用能量转换技术，在一定真空负压的状态下，以电能将气体转化为活性*的气体等离子体，气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物就被外接真空泵*抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

产品参数：

•外部尺寸： W356mm x H540mm x D495mm    重量：24kg

•耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔；

 真空腔尺寸：W140mm x H89mm x D179mm

•等离子发生器：功率 max.150w（可调）频率：50kHz

•供气：气体流量控制器  0-25cc/min w/精密针形阀。

•压力测量：热电偶真空计  0-1Torr.

•电源：115VAC，15A  功率：400W   供气：6mm连接件

•控制器：PLC微电脑控制系统。键盘用户界面，数字字母显示器。方案工艺可以进行自动处理。

附件（可选件）

抽气装置：*型号：5 CFM  2级  直驱真空油泵
•氧气发生器
•附加第二气体通道。附加第二气体控制器，0-25cc/min
•100w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器

升级装置：

•PC /笔记本电脑的控制系统：装载有等离子蚀刻软件的一台笔记本电脑是包括全自动系统操作，
流程排序，多配方存储，以及其他高级功能。
•质量流量控制器：附加质量流量控制器也可提供。

功能：

• 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超AA清洗。
• 改变某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
• 清除金属材料表面的氧化层。
• 对被清洗物进行消毒、杀菌。

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