晶圆芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高温烘箱
VOD-90
一、产品名称及型号：
1.1产品名称：真空高温干燥箱
1.2产品型号：VOD-90
二、主要技术指标：
2.1 电源：AC380V 3φ 50HZ
2.2 规格尺寸，功率：
型号 | 工作尺寸（mm） | 外形尺寸（mm） | 功率 |
VOD-90 | W450×D450×H450 | W800×D800×H1715 | 12Kw |
2.3 升温、降温速率要求:
大升温速率: ≥4 ℃/minute
小升温速率: 2 ℃/minute
小降温速率: 2 ℃/minute
大降温速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客户需配冷却塔)
常用温度: 350℃
高温度：450℃
三、箱体结构：
外壁材料： 冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤;
内胆材料： 5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光;
保温材料：厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好;
门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)
四、真空度：
真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);
真空度: ≤10 pa;
五、加热系统：
加热元件：四面辐射加热;
六、电器系统：
系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停；
温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器
七、安全保护：
加热电流过流、
系统短路保护;
电压过压保护;
真空泵过负载、
缺相保护;
电炉超温报警等功能。
晶圆芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高温烘箱
