技术参数
原 理:电化学传感器。
量 程:0~10/100/1000ppm, 1/25% O2 自动或手动切换。
分辨率:量程的0.1%。
准确度:量程的1%(在常温,常压下)。
线性度:R平方值>0.995。
校准气:建议采用80%FS O2 in N2标准气。在线式微量氧分析仪
响应时间:20秒达到90%。在线式微量氧分析仪
恢复时间:15分钟从空气(30秒)到10ppm。在线式微量氧分析仪
10分钟从9ppm(2分钟)到10ppb。在线式微量氧分析仪
传感器预期寿命:24个月(在1000ppm下)。在线式微量氧分析仪
操作条件
应用领域:半导体、空分、特气行业。
测量介质:H2、He、碳氢化合物、惰性气体、混合气体等。
接 口:进出气口采用1/4”或1/8”卡套接头。
压 力: 5~30psig(zui大100psig)。
温 度: 5~ +45℃。
流 量:1~3 SCFH,*:2 SCFH(立方英尺/每小时) 。