用途：半导体、太阳能、薄膜太阳能、实验室仪器、科学分析、生物工程、气体工程、泵、一般工业等
特点：
1、采用橡胶密封、比例电磁阀、实现低成本。
2、搭配多气体我量程功能。
3、精度±1.0%F.S。
4、标准接头1/4”SW相当品。
5、可选接口（RS-485）
MC-10多功能流量控制器
用途：半导体、太阳能、薄膜太阳能、实验室仪器、科学分析、生物工程、气体工程、泵、一般工业等
特点：
采用橡胶密封、比例电磁阀、实现低成本。
搭配多气体我量程功能。
精度±1.0%F.S。
标准接头1/4”SW相当品。
可选接口（RS-485）
性能指标
型号 | MC-10RC | MC-11RC |
流量（N2换算） | 10SCCM-5SLM | 6SLM-50SLM |
阀门动作 | 默认常闭 | 默认常闭 |
zui小制御流量 | 满量程2% | 满量程2% |
模拟流量设定信号 | 0.1-5VDC | 0.1-5VDC |
模拟流量输出信号 | 0-5VDC | 0-5VDC |
精度 | ±1.0%F.S | ±1.0%F.S |
再现性 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S |
必要差压（KPa D） | 50-300 | 100-300(∽30SLM) |
150-300(31SLM∽) | ||
耐压 | 1MPa(G) | |
工作温度湿度范围 | 15-35oC; 0-80%RH(无结露)（使用温度：5-50oC） | 15-35oC; 0-80%RH(无结露)（使用温度：5-50oC） |
漏率 | 1X10-8Pa.m3/sec He | 1X10-8Pa.m3/sec He |
储存温度湿度范围 | 0-60oC; 0-80%RH(无结露) | 0-60oC; 0-80%RH(无结露) |
安装方式 | 自由 | 自由 |
接口部材质 | SUS316L、PTFE、Viton橡胶 | SUS316L、PTFE、Viton橡胶 |
标准接口 | 6.35mm(1/4”)SWL(长度127mm) | 6.35mm(1/4”)SWL(长度127mm) |
工作电源 | ±15VDC | ±15VDC |
电气接口 | 9Pin D-Sub(固定螺母M3) | 9Pin D-Sub(固定螺母M3) |
产品重量 | 1.2Kg | 1.2Kg |
适用流量范围表
VR编码 | 适用流量范围 （按N2换算） | 可变VR值 | 基准流量 |
1 | 10-20SCCM | 0.50-1.00 | 20SCCM |
2 | 20-50SCCM | 0.5-1.50 | 50SCCM |
3 | 40-100SCCM | 0.5-1.25 | 100SCCM |
4 | 80-200SCCM | 0.5-1.25 | 200SCCM |
5 | 200-500SCCM | 0.50-1.25 | 500SCCM |
6 | 0.4-1SLM | 0.50-1.25 | 1SLM |
7 | 0.8-2SLM | 0.50-1.25 | 2SLM |
8 | 2-5SLM | 0.50-1.50 | 5SLM |
9 | 4-10SLM | 0.50-1.25 | 10SLM |
10 | 8-20SLM | 0.50-1.25 | 20SLM |
11 | 30-50SLM | 0.60-1.00 | 50SLM |
