反应舱 | 材料:铝 有效尺寸:直径230mm x 深度250mm 容积:10.4升 舱门:装有可视窗口 托盘:订制 |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
真空泵 | 二级旋片式真空泵,3m3/h |
频射发生器 | 0~600W可调,2.45GHz发生器 |
控制系统 | PLC可实现下列功能: l 自动控制反应过程; l 根据处理材料设定不同的处理工艺参数; l 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标; l 监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内; l 设定操作、维护密码。 |
电源 | 220V AC, 50Hz, 16A |
反应气体 | 一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC) |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.35mm) 管道;输入压力:1Bar |
安全性能 | 急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。 |
用途:
小型物件的活化、清洗、蚀刻等。
可选件:
- 频射发生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可订制
- 可加装15m3每小时的真空泵
- 根据需要,可订制多个气体输入管道
- 根据客户工艺要求制作的软件程序
- 根据客户要求制作的托盘。
- 石英反应舱
- N2 Purge.