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智能传感器(Smart Sensor)、智能执行器和智能变送器-微传感器(或微执行器,或微变送器)和它的部分或全部处理器件、处理电路集成在一个芯片上的器件(例如上述的微加速度计的单芯片解决方案)。因此智能传感器具有一定的仿生能力,如模糊逻辑运算、主动鉴别环境,自动调整和补偿适应环境的能力,自诊断、 自维护等。显然,出于规模生产和降低生产成本的要求,智能传感器的设计思想、材料选择和生产工艺必须要尽可能地和集成电路的标准硅平面工艺*。可以在正常工艺流程的投片前,或流程中,或工艺完成后增加一些特殊需要的工序,但也不应太多。
在一个封装中,把一只微机械压力传感器与模拟用户接口、8位模-数转换器(SAR)、微处理器(摩托罗拉69HC08)、存储器和串行接口 (SPI)等集成在一个芯片上。其前端的硅压力传感器是采用体硅微细加工技术制作的。制备硅压力传感器的工序既可安排在集成 CMOS 电路工艺流程之前,亦可在后。这种智能压力传感器的技术和市场都已成熟,已广泛用于汽车(机动车)所需的各式各样的压力测量和控制单元中,诸如各种气压计、喷嘴前集流腔压力、废气排气管、燃油、轮胎、液压传动装置等。智能压力传感器的应用很广,不局限于汽车工业。目前,生产智能压力传感器的厂商已不少,市售商品的品种也很多,已经出现激烈的竞争。结果是智能压力传感器体积越来越小,随之控制单元所需的外围接插件和分立元件越来越少,但功能和性能却越来越强,而且生产成本降低很快。
顺便需要说说的是,在一些中文资料中,尤其是一些产品宣传性材料中,笼统地将Smart Sensor(或device)和Inligent sensor(或device)都称之为智能传感器,但在欧美文献中是有所差别的。西方专家和公众通常认为, Smart(智能型)传感器比Inligent(知识型)的智慧层次和能力更高。当然,知识型的内涵也在不断进化,但那些只能简单响应环境变化,作一些相应补偿、调整工作状态的,特别是不需要集成处理器的器件,其知识等级太低,一般不应归入智能器件范畴。
相信大多数读者能经常接触到的,zui贴近生活的智能传感器可能要算是用于摄像头、数码相机、摄像机、手机摄像中的CCD图像传感器了。这是一种非智能型传感器莫属的情况,因为CCD 阵列中每个硅单元由光转换成的电信号极弱,必须直接和及时移位寄存、并处理转换成标准的图像格式信号。还有更复杂一些的,在中、高档长焦距(IOX)光学放大数码相机和摄像机上装备的电子和光学防抖系统,特别是产品中的真正光学防抖系统。它的核心是双轴向或3轴向的微加速度计或微陀螺仪,通过它监测机身的抖动,并换算成镜头的各轴向位移量,进而驱动镜头中可变角度透镜的移动,使光学系统的折射光路保持稳定。
13 、TSGC称重传感器,适用于吊钩秤。型号:TSGC-500kg。
14 、TS称重传感器,适用于拉式测力装置、机械设备计量。型号:TS-30kg,TS-50kg,TS-100kg,TS-500kg,TS-1000kg,TS-1.5t。
15 、XZF-SS称重传感器,适用于轨道衡识别器、塞入式轨道衡。型号:XZF-SS-200kN。
16 、HND-SS称重传感器,适用于拉式测力装置、工业在线测力。型号:HND-SS-3kb。
17 、HNDC-SS称重传感器, 适用于各种轴向测力场合。型号:HNDC-SS-30klb,HNDC-SS-60klb,HNDC-SS-100klb。
18 、DCB称重传感器,适用于拉式测力装置。型号:DCB-40t。
19 、NB称重传感器,适用于吊钩秤、拉式测力装置。型号:NB-2t,NB-3t,NB-5t,NB-10t,NB-15t,NB-20t,NB-30t。
20 、DF称重传感器,适用于吊钩秤。型号:DF-3t,DF-5t。
21 、DFF称重传感器,适用于吊钩秤。型号:DFF-10t。
22、 DFFB称重传感器,适用于吊钩秤。型号:DFFB-3t,DFFB-5t,DFFB-7.5t。
23 、BHS称重传感器,适用于吊钩秤、料斗秤、包装秤、过载限位。型号:BHS-5t,BHS-10t,BHS-15t,BHS-20t,BHS-30t,BHS-50t,BHS-100t,BHS-150t。
24 、BHSP-A称重传感器,适用于拉式测力装置。型号:BHSP-A-1.5t。
25 、SCG称重传感器,适用于电气设备控制系统。型号:SCG-350kg,SCG-700kg,SCG-850kg,SCG-1300kg。
26 、SCK称重传感器,适用于皮带秤、试验机、各种压式测力场合。型号:SCK-15kg,SCK-30kg,SCK-45kg,SCK-60kg,SCK-100kg,SCK-150kg。
27 、GZB称重传感器,适用于公路运输超重检测。型号:GZB-10t(即单轴20t)。
28 、GZE称重传感器。
29 、PB称重传感器,适用于吊钩秤。型号:PB-3.75kg,PB-7.5kg,PB-15kg,PB-37.5kg,PB-75kg,PB-150kg,PB-375kg。