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型号：PTZ-01
超高纯度cvd - sic单体*位，非磁性，耐蚀、抗高温等特性，使用方便
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運搬中における先端の保護にも充分ご注意下さい。 先端が破損した場合には、本体ごと返送下さい。 先端のみの取替えも可能です。 |
- 真空蒸着（CVD）法による不純物ppbレベルの超高純度SiC（炭化ケイ素）を先端ビットに装着した画期的な製法によるシリコンウェハー専用ピンセット。
- 従来のステンレス製ピンセットの重大な欠点であったシリコンウェハーへの重金属汚染が全くありません。
- 耐薬品性と耐熱性に極めて優れ、弗硝酸等によるウェハー洗浄工程での使用も可能です。
- 軽量（ρ＝3.8）、非磁性、耐摩耗性に優れる等の特徴もあります。
- ピンセット本体は、耐蝕性、非磁性、軽量等の特性を備えたチタニウムです。全長150㎜
■特性
■耐蝕性
■不純物含有量
| 項 目 | 特性値 |
| 密 度 （kg/M3） | 3.21×103 |
| 曲げ強度※ （kgf/mm2） | 80 |
| 引張り強度※ （kgf/mm2） | 60 |
| ヤング率 （kgf/mm2） | 50,000 |
| 硬 さ （kgf/mm2） | HK:3,500 |
| 線膨張係数（I/℃） | 4.5×10-6 |
| 熱伝導率※ （cal/cm?s?℃） | 0.16 |
| 比抵抗 （Ω?m） | 102 |
| （※）室温での値 |
■耐蝕性
| 雰囲気 | 温 度 | 時 間 | 重量変化 |
| 6N HCI | 沸点 （110℃） | 1470h | 認められず |
| 9N HNO3 | 沸点 （116℃） | 1470h | |
| 19N H2SO4 | 沸点 （128℃） | 1470h | |
| 弗硝酸?17%HF?83%HNO3 | 室温 | 532h | |
| 王水 | 80℃ | 186h | |
| 大気中 | 1500℃ | 146h | |
| HCIガス | 1200℃ | 25h |
■不純物含有量
| 元素 | 濃度（単位：ppb） |
| Cu | ＜100 |
| K | ＜60 |
| Mo | ＜40 |
| Fe | 35 |
| Cr | 26 |
| Zn | 9 |
| Mn | 9 |
| W | ＜ 4 |
| Na | ＜ 2 |
| Co | 1.3 |
| La | 0.8 |
| Ag | 0.8 |
| Hf | 0.32 |
| Au | ＜0.09 |
| Sc | ＜0.01 |
