1、什么是硅谐振式传感器?它是如何工作的?MPM4530 压力变送器 应用领域 硅谐振式传感器是日本横河公司EJA智能变送器中的敏感元件。它是一种微型构件,体积小,功耗低,响应快,便于和信号处理部分集成。如图中所示为硅谐振式传感器中的核心部分——硅谐振梁结构。它是在一块单晶硅芯片上,采用三维表面微机械加工技术,加工成形状大小*相同的两个H型谐振梁,一个在硅片的*,另一个在硅片的边缘。当硅片受到压力作用时,将产生应 变和应力,两个谐振梁也伴随膜片产生相应的应力。但由于它们在膜片上所处的位置不同,它们的应力是不一样的,一个受压,一个受拉,于是它们的谐振固有频率也就发生变化。利用测量两个谐振梁的频率之差,即可得到被测介质的压力或压差。 硅谐振式传感器中的硅梁、规膜片、空腔被封在微型真空中,使它既不能与充灌液接触,又在振动时不受空气阻力的影响,所以用它制成的仪表性能稳定。
2、在EJA智能变送器中,通过何种方法激励硅谐振子的振动和拾取其信号? 在EJA智能变送器中,硅梁振动的激励与信号的拾取是通过电磁的方式实现的。如图所示,硅谐振梁处于*磁铁提供的磁场中,通过激振线圈A的交变电流i 激发H型硅梁振动,并由拾振线圈B感应后送入自动增益放大器。放大器一方面输出频率,另一方面将交流电流信号反馈给激振线圈,形成一个正反馈闭环自激系统,从而维持硅梁连续等幅振动。
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