富士ZAF型热导式气体分析仪
半导体装置的H2气体浓度测量 氢气发生装置的H2气体浓度测量 烧结炉的H2气体浓度测量 煤气发生设备的Ar、He、CH4浓度测量 超导装置的He气体浓度测量空气分离设备的Ar气体浓度测量
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富士ZAF型热导式气体分析仪 |
热导式气体分析仪ZAF型
测量H2、Ar、He气体浓度的热导式气体分析仪
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中文版规格书(CDS3-127d) (856KB)
英文版产品目录(21C1-E-0031) (1.48MB)
英文版规格书(EDS3-127d) (172KB)
特点
清晰易见的大形LCD显示。
可与计算机通信。
小型的面板安装结构。
零点、满量程点的自动校正功能(选配件)。
可对其它气体的干涉影响进行补偿运算(选配件)。
气体浓度报警输出(选配件)
可任选上·下限报警、上·上限报警、下·下限报警输出中的某一项。
量程切换(选配件)
通过正面键盘操作的切换方式或通过外部接点输入的切换方式。量程比：测量H2、He zui大为1:10 测量Ar、CH4、CO2 zui大为1:5。
测量输出信号的线性化(选配件)
用途
半导体装置的H2气体浓度测量
氢气发生装置的H2气体浓度测量
烧结炉的H2气体浓度测量
煤气发生设备的Ar、He、CH4浓度测量
超导装置的He气体浓度测量空气分离设备的Ar气体浓度测量
| 热导式气体分析仪是利用2种组分气体不同的热导率来测量气体浓度。检测器内部有参比室和测量室，内部分别张紧着细铂丝。参比室内密封着参比(基准)气体。铂丝与外部定值电阻组合，形成电桥回路，恒定电流分别流过各铂丝，使之发热。被测组分中若浓度有变化，则试样气体的热导率会随之变动，从而使测量室铂丝的温度发生变化。将这种温度变化以电阻值变化的形式取出，就可以计算出被测气体的浓度。 |
测量原理
主要规格
| 标准规格 | 测量方式 | 热传导式 | |
|---|---|---|---|
| 测量组分 | He、Ar、H2、CH4、CO2 | ||
| 测量范围 | H2：0～3……100％，100～90，100～80％ He：0～5……100％，100～90，100～80％ Ar：0～10……100％，100～90，100～80％ CH4：0～20……100％，100～80％ | ||
| 输出信号 | DC4～20mA、DC0～1V、DC0～10mV 非隔离输出(其中某一点，根据型号) | ||
| 容许负载电阻 | 不超过550Ω(DC4～20mA输出时) | ||
| 输出电阻 | 100kΩ(DC0～1V、DC0～10mV时) | ||
| 显示器 | 带背光LCD | ||
| 测量值显示 | zui多4位或小数点后带2位 | ||
| 输出信号保持 | 手动校正、自动校正时保持校正前的输出值 | ||
| 电源电压、功耗 | AC100～240V 50/60Hz、约50VA | ||
| 环境温度、湿度 | －5～45℃、不超过90%RH(应无结露) | ||
| 安装方法 | 面板嵌入型 | ||
| 外形尺寸(H×W×D) | 240×192×213mm | ||
| 重量 | 约5kg | ||
| 外壳类型 | 钢板制外壳、室内型 | ||
| 气体出入口、换气口 | Rc1/4或NPT1/4(根据) | ||
| 换气气体的流量 | 约1L/min(根据需要进行) | ||
| 适用标准 | CE标记(预定取得认证) | ||
| 性能 | 重复性 | ±1%FS | |
| 漂移 | 零点：±2% FS/周 以内(H2分析仪) 满量程点：±2% FS/周 以内(H2分析仪) | ||
| 响应速度(90%响应) | 标准：60秒以内(0.4L/min流量) 高速：10秒以内(1L/min流量) 但H2分析仪(参比气为N2) | ||
| 标准测量气体条件 | 温度 | 0～50℃ | |
| 气体流量 | 0.4±0.05 L/min 且应稳定 | ||
| 尘埃 | 不超过1µm的微粒， 不超过100µg/Nm3 | ||
| 压力 | 不超过10kPa | ||
| 气雾、腐蚀性气体 | 无 | ||
| 水分 | 不超过2℃饱和 | ||
| 选配件规格 | 线性化 | 对测量值输出信号(DC4～20mA)附加线性化 直线度不超过 ±2%FS | |
| 继电器接点输出 | 5点的1a输出 继电器接点容量：AC220V/2A(阻性负载) 各接点间以及与内部电路之间为继电器隔离 以下功能zui多可选择5项
| ||
| 接点输入 | 3点无电压接点输入 ON：0V、OFF：DC5V、ON时电流5mA 与内部电路为光耦合器隔离、接点输入之间为非隔离 可输入以下3点
| ||
| 干涉气体测量值输入 | H2分析仪干涉用模拟量输入(DC1～5V) | ||
| 自动校正功能 | 按照事先设定的周期自动进行零点、满量程的校正。驱动设置在外部的电磁阀，校正气体即依次流动。 | ||
| 通信功能 | RC232C(9针D-sub输出) | ||
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