SEC-Z512MGX SEC-Z512MGX质量流量控制器-质量流量计-仪表网

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仁荷泰可（北京）科技有限公司是流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商，自有进出口权。致力于质量流量计、压力传感器等压力测量器件的销售，维修校准服务，应用于集成电路制造，太阳能光伏，平面显示制造，光纤制造等行业。
我们提供*的气体流量校准系统，精准的进行MFC清洗校准更改量程等服务。提供服务的MFC保期一年，所提供产品都为*！公司本着“追求*、精益求精”的精神，提供优质的产品和快捷，细致，可靠的服务，精诚合作，共同进步！

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产品简介在线询价

材质	不锈钢	工作温度	0-50℃	精度等级	1
款式	电子带数显	适用介质	气体	温度范围	低温
转换器形式	一体式

SEC-Z512MGX质量流量控制器-质量流量计产品详情

产品介绍
Z512, Z522 Digital / Analog
Mass Flow Controller / Meter
SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z522MGX
SEC-Z512X SEC-Z522XN SEC-Z522X
SEF-Z512MGX SEF-Z522MGXN SEF-Z522MGX
SEF-Z512X SEF-Z522XN SEF-Z522X
Full-scale flow rate MR/MG number
(N2 conversion flow rate) #R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
Valve Type
Flow rate at fully closed control valve
Flow rate control range
Flow rate measuring range (SEF)
Operating temperature
Response
Linearity
Repeatability
50 to 300 kPa (d)
#5.5, #06: 100 to 300 kPa (d)
Operating differential pressure (SEF)
MAX. Operating pressure
Pressure resistance
Leak Integrity
Flow rate setting signal

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