【仪表网 仪表标准】近日，国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数》和《真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度》编制完成并公开征求意见，时间截止至9月20日。
《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数》
机械增压真空泵在国内外亦被称作罗茨真空泵，是容积真空泵的重要分支。它可以在较宽的压力区域内实现较大的抽速,尤其是在10-1Pa - 102 Pa这个压力范围内,其他的高真空泵和低真空泵不能实现高抽速。因具有这种特性,至今在机械通用行业、半导体行业、光伏行业、航空航天工业、制药工业、真空冶金行业等得到大量应用。
GB/T 40344.1和 GB/T 40344.2中规定的测量方法和装置可以用来测量机械增压真空泵的体积流率。然而,由于机械增压泵设有前级真空泵,测量方法不同于普通的高真空泵或低真空泵，特别是测量一些重要参数时，如最大容许压差，零流量压缩比和溢流阀压差等，并未涵盖在这两项标准中。
实际应用中急需对其测量方法标准化，以使生产者和最终用户对不同机械增压泵的性能进行比较。亦能对这两项标准进行有效补充。本标准的制定可为罗茨真空泵的设计、制造、验收、检测和使用提供指导和规范，同时可为罗茨真空泵的推广应用提供有效的技术支撑和科学合理的测试比对方法。
本文件规定了机械增压真空泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊的要求。文件中所涉及的机械增压泵包括用于中真空或粗真空应用的机械增压泵、气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。
《真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度》
电容薄膜真空计最大的问题是供需关系倒置，购买方需要向供方提供书面申请，待供方批准后才能获得购买权限，这就造成了购买方在仪器的技术要求上没有话语权。而部分供方在概念上混淆，例如用“测量误差”代替“测量精密度”或“测量准确度”。本标准对于有可能出现在产品说明书或技术要求文件上的名词均给出了定义，关键名词还给出了测量或评价方法，有助于生产厂家给出的技术要求具有可比性。
该标准给出了校准电容薄膜真空计应该注意的一些影响量，例如温度效应等，可以作为电容薄膜真空计校准规范的补充说明。本标准给出了评估电容薄膜真空计不确定度需要考虑的不确定度分量，有助于检测机构能够更为合理的评估其性能，不会因为由于丢项而评估的不确定度偏小。
该标准可用于规范电容薄膜真空计生产厂家给出的技术指标，使其具有可比性，方便用户选择。明确测量误差与测量精密度的区别，以免发生混淆，特别是对于可以调节显示值的薄膜计，不能以调整后的测量误差代替测量精密度写入技术文件。该标准将会对电容薄膜真空计的生产厂家给予一定的制约，使其能够更为合理的评价产品性能，为用户购买选型提供技术上的保证。
该标准还对计量部门及校准实验室提供了详细校准过程，不确定度评定方法，对其校准工作提供了技术指导。通过本标准的制定，可以推动我国电容薄膜真空计产品质量的提高，同时可使我们电容薄膜真空计的产品性能、校准方法与国际通行方法接轨，具有明显的社会效益和经济效益。
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