【仪表网 仪表标准】近日，国家空气净化产品及气体检测仪器质量检验检测中心(江苏)申请的一项地方标准《微机电系统半导体气体传感器检测方法》获得江苏省市场监督管理局立项。苏州市计量测试院作为江苏省纳米技术标准化技术委员会秘书处单位，该标准也是委员会成立以来首个推荐成功立项的标准。
基于微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工艺的半导体气体传感器技术是目前半导体气体传感器发展的趋势，它既有传统半导体气体传感器高灵敏度、低成本、敏感材料多样性的优势，又具有体积小、功耗低的特点，可以更好地适用于小型化和微型化器件的大规模生产，能够有效提升传感器的实用性。
本标准将进一步促进MEMS半导体气体传感器产品质量的提升，提高产品市场认可度，推进行业健康快速发展。今后，国家质检中心将持续提升检测能力和技术水平，围绕产业需求，提供NQI一站式服务，为洁净产业和气体检测相关产业的高质量发展做好技术支撑工作。
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