《静态膨胀法真空标准装置检定规程》征求意见

　　【仪表网 仪表标准】根据总局下达的国家计量技术规范制修订计划，全国压力计量技术委员会已完成《静态膨胀法真空标准装置检定规程》的征求意见稿。为了使国家计量技术规范能广泛适用和更具操作性，特向全国有关单位征求意见和建议。
 

　　JJG728-1991一等标准膨胀法真空装置检定规程1991年制定的，量传原则依据的是JJG2022-1989真空计量器具检定系统表。在1989版系统表中，是允许范围外扩的，即标准装置范围比基准宽，工作用器具范围比标准宽。这种量传方式不符合目前现行有效的相关文件。
 

　　JJF 1002-2010《国家计量检定规程编写规则》和JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》共同构成本规程制订的基础性系列规范。本规程的修订主要参考了JJG728-1991《一等标准膨胀法真空装置》国家检定规程。
 

　　依据JJF 1002-2010《国家计量检定规程编写规则》，本规程在架构上包括：范围；引用文件；术语和计量单位；概述；计量性能要求；通用技术要求；计量器具控制以及附录等内容。
 

　　检定条件：
 

　　1.测量静态本底压力的规管应提前安装于装置校准室上，装置需要至少提前4h开启，必要时，可提前进行烘烤。2.实验用仪表需提前预热，电容薄膜真空计需预热12h以上。
 

　　环境条件：
 

　　a)环境温度：(23±5)℃。b)相对湿度：大不于80%。c)装置应放置于室内温度比较均为稳定之处，应避免日光直射，并远离热源。d)应满足所使用的相关仪器对环境条件的要求。
 

　　静态本底压力：
 

　　开展电离真空计校准的装置，静态本底压力需要用电离真空计进行实验；开展磁悬浮转子真空计校准的装置，静态本底压力需要用磁悬浮转子真空计进行实验；二者均为装置开展项目的，任选其一进行实验。
 

　　1.用电离真空计测量静态本底压力。a)按照装置操作规范开启真空系统，待真空系统运行正常后，开启电离真空计。必要时，可对装置校准室进行烘烤去气，可对电离规管进行除气。b)待装置的残余压力达到预期值后，关闭校准室与分子泵之间的阀门，并开始计时。1min后，读取电离真空计的压力值。
 

　　2.用磁悬浮转子真空计测量静态本底压力。a)按照装置操作规范开启真空系统，待真空系统运行正常后，启动磁悬浮转子真空计。必要时，可对装置校准室进行烘烤去气，若烘烤造成转子磁化强度过低，可对转子进行磁化处理。b)待装置可进行实验后，设置磁悬浮转子真空计采样间隔为30s，offset参数设置为0，记录5min，取平均值作为磁悬浮转子真空计的残余阻尼。c)关闭校准室与分子泵之间的阀门，并用计算机持续记录磁悬浮真空计示值(1~4)h，按照其线性拟合结果计算得到装置校准室升压率，并以150s的压力升高值作为装置静态本底压力。
 

　　检定结果处理：
 

　　检定合格的装置，出具检定证书；检定不合格的装置，出具检定结果通知书，并注明不合格项目和内容。
 

　　检定周期：
 

　　装置检定周期为5年。
 

　　本规程适用于压力范围(1×10-4~1×102)Pa的静态膨胀法真空标准装置(的首次检定、后续检定和使用中检查。（更多详情请见附件）