【仪表网 行业标准】近日，由兰州空间技术物理研究所 、兰州文理学院等单位起草，TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口的国家标准计划《真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度》征求意见稿已编制完成，现公开征求意见。
高真空环境是航空航天、核工业、半导体、高端装备制造等领域发展的重要保障，高真空测量精度直接决定了以上领域技术的快速发展，在该压力范围，国际公认的溯源/传递标准为磁悬浮转子真空计。国内尚没有关于磁悬浮转子真空计校准方法、规范、测量不确定度等的完整、统一标准。本标准的起草将填补这一空白，为高真空范围量值的准确可靠传递奠定基础。
本标准的发布实施，可确保产品的安全性、可靠性和稳定应用性，有效解决高真空范围真空量值准确、可靠传递的难题。通过规定磁悬浮转子真空计的通用术语、制造商应给出的参数以及使用时应该考虑的测量不确定度等内容，对规范市场、指导生产、提高产品的技术性能，提高磁悬浮转子真空计的全生命周期内的可靠性，更好地满足市场和使用需要，提升我国磁悬浮转子真空计的技术水平，满足我国航空航天、半导体、大科学工程等领域对真空量值溯源准确性日益提高的应用需求具有十分重要的作用。也为计量机构的校准及使用单位的实际使用提供了技术支撑。
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件等同采用ISO 24477:2022《真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度》。
本文件起草单位：兰州空间技术物理研究所、东北大学、兰州文理学院、沈阳真空技术研究所有限公司、北京卫星环境工程研究所、中国计量学科研究院、中核第七研究设计院有限公司、合肥工业大学、沈阳汇真真空技术有限公司。
本文件界定了磁悬浮转子真空计(SRGs)相关的术语，规定了SRGs所需参数，详细描述了在使用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2Pa。
校准不确定度：
应按照 ISO 27893 来评估 SRG 的校准不确定度。
校准 SRG 不确定度的各贡献分量如下：
— 标准压力的不确定度；
— 测量 RD 的不确定度；
— RD 的漂移；
— 示值的标准偏差；
— 外推至零点压力的不确定度；
— 气体纯度；
— 温度。
校准证书：
应按照 ISO 3567 编制 SRG 的校准证书。
如果校准的是读数误差，建议给出读数相对误差。
如果按照 8.2.3 的步骤进行校准，可给出修正公式(8)。
应给出校准时在控制单元内输入的转子直径和密度值。
宜给出校准时的残余阻尼或偏置。
使用时的测量不确定度：
如果测量低于 10 mPa 的压力，宜在低于 SRG 分辨率极限的残余压力下测定 RD 及其与频率的相关性 RD(ω)。SRG 分辨率用残余阻尼的标准偏差表示。在低于 10 mPa 压力的测量过程中，宜记录ω，并减去相应的 RD(ω)。
虽然某些测量不确定度分量在校准过程中不重要，但在以后实际应用过程中会产生影响，例如：作为标准真空计时。
下面大致列出了一些测量不确定度的来源，作为对 8.3 的补充：
— 长期不稳定性；
— 环境温度漂移及测量；
— 真空计接触的气体的洁净程度；
— 气体成分和气体种类。
更多详情请见附件。
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