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中科院声学所研究人员设计出新型声表面波温度传感器件

仪表研发 2020年09月09日 16:23:16 来源:中科院声学研究所人气:18567
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  【仪表网 仪表研发】高温环境引起的热辐射损耗会导致传感器器件具有较大的声波衰减,因此在这种环境下工作的传感器应具有足够大的品质因数(Q)且损耗较低。传统的有线有源传感器不能用于高温环境下的温度测量,而基于声表面波(surface acoustic wave,SAW)的无线无源温度传感器为此提供了一种良好的解决方案。
 
图1 用于提取反射系数的声表面波装置的结构(上)和反射系数测量实验装置(下)
 
图2 反射系数测量与高温传感器响应
 
  中科院声学所超声技术中心的博士生李学玲及其导师王文等人采用短脉冲法提取精确的反射系数并用典型的耦合模 (coupling of modes,COM)模型对LGS/Pt结构声表面波温度传感器件进行优化设计,仿真和试验证明该器件具有良好的高温传感性能。
 
  相关研究成果2020年4月在线发表于国际学术期刊 Sensors 。
 
  研究人员基于不同Pt膜厚与波长比的LGS/Pt器件的结构开展实验研究。采用最小二乘法对实验数据进行拟合,得出反射系数计算公式,利用有限元方法提取Pt/LGS的其它COM参数,通过典型的COM模型对Pt/LGS结构的单端口谐振器进行模拟,并确定了具有较大Q值的最佳设计参数。
 
  研究人员利用光刻技术研制了一个400MHz单端口声表面波谐振器,用网络分析仪对其测量得到较高的Q值,测量结果与模拟结果吻合良好。在50~650℃的温度范围里,测试了所制备的传感器件的高温特性,测试结果显示其具有良好的稳定性和线性TCF( ~25 ppm/°C.),证明该器件具有较好的高温传感性能。
 
  研究结果表明,声表面波高温传感技术可用于极端高温环境下的高灵敏度温度监测和预警。
 
  本研究得到国家自然科学基金联合重点基金项目(No.U1837209)等资助。
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