带磁控沉积的离子束刻蚀机采购国际招标公告招标-仪表网

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带磁控沉积的离子束刻蚀机采购国际招标公告

公告日期 2025-10-11
截止日期 2025-10-31
所在地区
广东
所属行业
实验仪器>制样/消解设备

详细信息

本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:3732-25426HW06001
招标项目名称:带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	带磁控沉积的离子束刻蚀机采购	1	最大样品尺寸直径6英寸，兼容4英寸（载盘式设计）刻蚀速率 ≥ 15 nm/min（6寸晶圆，SiO2膜）刻蚀均匀性≤ 3 % 6寸晶圆，SiO2膜， (max - min)/(2 x mean)) 设备采用2.45GHz微波离子源离子束有效束径190mm 真空腔室带HIDEN Analytical Ltd. SIMS终点检测装置，设备具有相应的法兰接口真空腔室带磁控溅射源接口工件台倾斜角度可调，调节范围0-160度，控制精度+/-0.1° 磁控溅射源安装在腔室顶部，用于介质的镀膜工艺，做原位侧壁保护

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格:
1)投标人必须具备独立法人资格，并在必联网（www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（www.chinabidding.com）注册成会员，境内投标人投标文件须提供加盖投标人公章的营业执照复印件。
2)本项目不接受联合体投标，不允许转包分包；
3)投标人及其法定代表人参与政府采购活动前三年内（投标人成立不足三年的可从成立之日起算），在经营活动中无重大违法记录、无行贿犯罪记录、无串通投标、弄虚作假不良行为记录被暂停投标资格期间的情况（由投标人在《政府投标及履约承诺函》中作出声明）；
4)符合国家法规政策关于诚信管理的要求，至投标截止时间，投标人未有在“信用中国”网（）、中国政府采购网（）、深圳市政府采购监督管理网（）、深圳公共资源交易网（）和“国家企业信用信息公示系统（）等5个中列入“失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单” （由投标人在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）；
5)招标技术文件中要求的其它资质文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

联系方式

友情提示：为保证您能够顺利投标，请在投标或购买招标文件前向招标代理人咨询投标详细要求，具体要求及项目情况以招标代理机构或招标人的解释为准。

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