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棱镜耦合仪

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产品型号SPA4000

品牌

厂商性质经销商

所在地武汉市

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更新时间：2018-05-15 16:09:04浏览次数：3230次

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武汉维思特科技有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：8条

所在地区：湖北

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产品简介

一、主要测试功能：1薄膜及波导折射率/厚度/光损测量2体材料折射率的测量3薄膜及体材料的双折射测量4液体折射率的测量5折射率随温度变化的测量分析6折射率随深度变化的测量分析

详细介绍

产品名称： 棱镜耦合仪

产品编号：Prism Coupler-SPA-4000

产品类别：检测仪器

一、主要测试功能：

1薄膜及波导折射率/厚度/光损测量

2体材料折射率的测量

3薄膜及体材料的双折射测量

4液体折射率的测量

5折射率随温度变化的测量分析

6折射率随深度变化的测量分析

二、主要应用领域：

1光波导器件芯片的制备

2激光晶体的制备

3聚合物材料的属性研究

4显示技术材料的测量

5光/磁存储材料的测量

6光学薄膜的制备

三、主要测量参数：

测量对象	具体内容
折射率	折射率测量范围	1.0 to 2.45
	折射率精度	0.001
	折射率分辨率	±0.0005
厚度	厚度测量范围	0.4㎛-20㎛
	厚度精确度	±0.5%
	厚度分辨率	±0.01㎛
体材料（仅测折射率）	折射率精度	0.0005
体材料（仅测折射率）	折射率分辨率	±0.0001
厚薄膜	厚度测量范围	2㎛-150㎛
液体（仅测折射率）	折射率测量范围	1.0 to 2.4
液体（仅测折射率）	折射率精度	± 0.0005
热光系数	温度测试范围	室温－150℃
波导损耗测量	测量限度	below 0.05dB/cm

四、操作波长：

632.8nm,830nm, 1310nm,1550nm以及根据客户要求的其他可见光/近红外光。用户zui多可同时选用两个波长的激光源。

五、可测试的薄膜材料和称底材料的类型：

任何光滑的称底材料均可,并包括：硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等。

薄膜类型		称底类型
Silicon Nitride		Silicon
Silicon Dioxide	Silicon Oxynitride	GaAs
Low-k films	Polymers	Quartz
Polyimides	ITO	Glass
Zinc Sulfide	Titanium Dioxide	Sapphire
Sapphire	Epi Garnet	GGG
Photoresists	Holographic Gels	Lithium Niobate

七、一些材料厚度测量范围：

厚度测量范围表

薄膜类型和折射率	厚度和折射率一起测量	仅测量厚度
硅基上的二氧化硅（n=1.46）	0.48-15mm	0.20-0.48mm
硅基上的光刻胶（n=1.63）	0.42-15mm	0.18-0.42mm
二氧化硅上的光刻胶（n=1.63）	0.70-15mm	0.30-0.70mm
硅基上的聚酰亚胺（n=1.72）	0.38-15mm	0.15-0.38mm
二氧化硅上的聚酰亚胺（n=1.72）	0.50-15mm	0.16-0.50mm
硅基上的氮氧化硅（n=1.80）	0.35-15mm	0.14-0.35mm
二氧化硅上的氮氧化硅（n=1.80）	0.45-15mm	0.13-0.45mm
硅基上的氮化硅（n=2.0）	0.32-15mm	0.12-0.32mm
二氧化硅上的氮化硅（n=2.0）	0.30-15mm	0.15-0.30mm