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显微分光膜厚仪（OPTM系列）
测量目标膜的**反射率，高精度测量膜厚和光学常数！非接触·非破坏·显微
测量时间仅1秒!
OPTM系列使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件
产品特点：
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外***近红外）
区域传感器的安全机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量项目：
**反射率测量
多层膜解析
光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
应用：
半导体：晶圆样品的自动调整，晶圆的弯曲检测
光学元器件：镜头镜片的放射率，弯曲等检测
显微分光膜厚仪（OPTM系列） 产品规格型号：
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
光斑大小 | 10μm (***小约5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
电源規格 | AC100V±10V 750VA（自动样品台规格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
重量 | 约 55kg（自动样品台规格之主体部分） | ||
