干式螺杆真空泵优点和缺点
干式螺杆真空泵是主要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，
安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，
相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽
及少量粉尘的气体场合，极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。
干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版。
但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点：
干式螺杆真空泵的优点
1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况
2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体
3、不耗油，无滴漏
4、结构简单，维护方便。
5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
干式螺杆真空泵的缺点
1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。
2、不适于抽除含有爆炸性的气体。
3、不适于抽除含氧过高的气体。
*镒圣叶片泵VPC-FB-40、VHO-F-15
油泵产品特性：
1.省马力、低噪音。
2.不易生热、耐磨耗。
3.高容积效率。
*镒圣叶片泵VPC-FB-40、VHO-F-15
随着我国工业界的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，
对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。
螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、
能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。
在欧美
和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。
螺杆真空泵的特点与应用
1、概述
真空获得设备是一个量大面广的产品，它是真空工程配套*的基础元件。
近年来，随着真空技术应用领域的不断扩大，各种真空获得设备增长亦非常迅速。
为满足真空应用发展的需要，特别是老产品不断更新，新产品不断出现，
真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。其特点是：降低泵的振动和噪声，
提高*运行的可靠性，处理大量可凝性和挥发性气体，降低能耗和运行成本，
消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀，耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。
根据上述要求迫使真空获得设备制造厂家不断改进老产品的特性。
如滑阀泵具有抽速大、性能稳定、经久耐用等特点，
但它的运动部件的惯性力和惯性力矩所产生的振动一直引起人们的注意;
如美国KINNEY 公司研制出三缸结构的滑阀泵，可实现滑阀组件自身平衡，
降低了泵的振动与噪声，这种三缸内平衡的结构设计，可使滑阀泵的安装无需地脚螺栓固定，
无需特殊的地基，可以直接安放在任何能支撑其重量的地面或支架上，
因而大大方便了用户的使用。又如罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用，
在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、
制药等行业，大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。
一方面可以减少干泵尺寸，提高机组在中真空范围的抽速，
另外极限真空度也能提高一个数量级。根据罗茨泵的抽气机理，
从原则上来说应该是无油的，但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动，
这些轴承和齿轮均需要润滑系统。当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时，
润滑油亦会受到侵蚀。美国Tuthill 罗茨泵的密封装置有五点机械密封(KMBD 系列)，
即除了在电机的输入端采用机械密封外，其余四个机械密封都用来作为泵腔与油箱之间的密封。
这种全部是机械密封的罗茨真空泵特别适合于在工艺气体腐蚀性很强的场合应用。为了防腐蚀，
这种罗茨泵的内部凡是接触到工艺气体的表面都要经过涂层处理(Ni 0.076 mm+Cr 0.005 mm)，
所有密封圈材料为全氟橡胶。
