Phasics利用其砖唎的四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了优良的解决方案。SID4-UVHR波前传感器有非常高空间分辨率（250x250测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是*适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。Phasics SID4-UVHR波前传感器

详细介绍

Phasics SID4-UVHR波前传感器

Phasics利用其专·利（专·利号CN200780005898）的四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了优秀的解决方案。它有非常高空间分辨率（345x275测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完·全适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件。

SID4-UVHR 光学器件测量自适应光学

特点：

由于其独·特的专·利技术技术，Phasics的SID4-UVHR波前传感器具备以下特点：

1.超高分辨率：250x250测量点

2.高灵敏度：0.5nm

3.通光孔径大：8*8mm

4.直接测量：光学元件和表面质量

应用：

SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用：

紫外激光器：光束测试与校正

光学测量：UV光学测试（半导体…）和表面测量

SID4-UVHR产品参数：

波长范围	190 - 400 nm
通光孔径	13.6 x 10.9 mm2
空间分辨率	40 µm
采样点（相位/强度）	345 x 275
相位相对灵敏度	1 nm RMS
相位精度	10 nm RMS
动态范围	~
采样频率	> 30 fps
实时分析频率	3 fps (full resolution)
数据接口	Giga Ethernet
尺寸(w x h x l)	51 x 51 x 76mm
重量	~300 g