维萨拉薄膜聚合物传感器能对水气做出响应，而水气在高于和低于水沸点的温度条件下都会存在。但是，在高于沸点的任何温度下，可能达到的最大相对湿度值会受到物理限制。这可以使用以下湿度理论来解释：
　　相对湿度的定义是：RH=Pw/Pws*100%，其中Pw表示水汽压，Pws表示随温度而变的水蒸气饱和压力。Pws可从文献中检索，最高临界温度为373.98°C。蒸气压力Pw与温度无关，只要Pw已知，就能确定高至临界温度范围内的相对湿度。
　　在高于沸点的温度条件下，实际的相对湿度值(%RH)会受到限制，因为水汽压不会高于总压力。这意味着在高于水沸点的条件下，未加压系统中的最大相对湿度始终低于100%RH，如图所示。
　　例如，在120℃的温度条件下，最大相对湿度是51%RH。在已知饱和压力Pws近似1.987 bar的条件下，可以计算出该值。在正常大气压1.01325 bar的条件下，可能达到的最高Pw也是1.01325 bar。由此换算出的相对湿度是51%RH，如表1所示。
　　其他湿度参数，例如露点温度，在未加压系统中也会受到限制。例如，最大露点与沸点相同，通常是100°C。
　　维萨拉HUMICAP®传感器已经过验证，可在温度高达180℃的未加压和加压条件下进行湿度测量。