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EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。
·光栅控制，增强深度分析能力
·所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
·质量数范围： 300amu，500amu，1000amu
·检测器： 离子计数探测器、正负离子探测器、107 cps
·质量过滤器： 3F四级杆
·杆直径： 9mm
·加热： 250℃
·离子源： 电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝
MAXIM - Quadrupole SIMS Analyser (562 KB)
AP0088 - Metal-Carbon Composites and Multilayer Thin Films Prepared by Plasma Assisted Sequential Deposition (293 KB)
AP0128 - Magnesium Nitride Phase Formation Through New Ion Beam Implantation Technique (406 KB)
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