罗茨真空泵机组是由罗茨真空泵和前级泵串联而成的真空机组。一般情况下，抽真空极限可达到2 PA至0.02 PA。

启动罗茨真空泵机组的方法是将机组连接到泵送容器上，打开罗茨真空泵机组的冷却水，打开前泵，然后缓慢打开主阀。此时，罗茨泵开始跟随。当容器真空泵送至1000-500 pa时，打开罗茨泵，直到达到所需的真空度。

真空机组运行时声音响应均匀，无噪音和不规则异常振动。注意电机负载和泵各部件的温升。正常情况下，罗茨真空泵最大温升不超过40℃，最大工作温度不超过80℃。

运行中如有漏油现象，应立即停止工作，卸压后进行检查维修。发现漏油后，罗茨真空泵不得带压继续工作或检修。运行时保证循环冷却水进出口正常。

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