1、工作真空度范围：

真空泵的工作真空度应该满足真空设备的极限真空及工作真空度要求。通常，选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。例如：某真空冷冻干燥工艺要求2*10²Pa的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要40Pa，最好能达到20Pa以上。

每种泵都有一定的工作真空度范围。因而真空泵的工作范围应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作真空度以外长时间工作。应尽可能要求真空泵在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气真空度之间的区域内运行。例如：某真空泵工作真空度范围1*10⁵Pa（大气压）~3.3*10³Pa，但是其稳定的工作真空度范围为1*10⁵Pa（大气压）~8*10³Pa，所以泵的工作范围应该选在1*10⁵Pa（大气压）~8*10³Pa范围之内较为适宜，不能让它在3.3*10³Pa左右长期工作。

应避免在最大真空度或最大排气真空度附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，容易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，泵内往往出现噪音和振动，导致泵无法正常工作甚至损坏。

2、排气量：

要根据气量和真空度选择合适的真空泵。要保证生产所要求的真空度或在其工作真空度下排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

3、抽气体成分：

选择真空泵时，需要知道气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

4、真空泵的采购价格、运转及维修费用：

在使用许可的情况之下，应尽量选用耐用可靠、性价比合理的真空泵。

选择真空泵时，不但要考虑采购价格，更重要的是考虑运转以及维修费用、生产出成品的成品率。例如，采用无油涡旋真空泵，镀膜成品率可以提高3%~5%，优势非常明显。

5、正确地组合真空泵：

由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，例如分子泵、离子泵等，需要前级泵，故都需要把泵组合成为真空机组使用。

6、真空设备对油污染的要求：

如果设备严格要求无油时，或者环境不允许有污染，应该选各种无油泵，如：无油涡旋真空泵、磁悬浮分子泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。