AERA品牌FC-7800CD进口气体质量流量计 返回列表页

响应速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性

特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许大清洗流量：高达大校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)


FC-7700系列产品采用技术设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其*之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是较快的。
的可靠性:
由高质量的电子组件和采用耐用、少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。
易于集成:
替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。
出众的效果：
FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的*性，同时还有高度的可重复性。
型号参数：

AERA品牌FC-7800CD进口气体质量流量计

注：可根据不同客户的需求，选择全金属密封的FC-7800CD系列，数字型的FC-D770系列，全金属密封及数字型的FC-D980系列。
1% of set point(25%- FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 大工作压力:70 psig(490 kPag)