当前位置：上海亨东仪器有限公司>> 日本HORIBA LU 系列自动供液系统LU-A1000 series
LU 系列以不间断、安全和可靠的方式将液态化学品输送至液体材料烘烤系统和注入系统。这增加了正常运行时间，减少了操作人员手动操作和制程污染的风险。
LU 系列提供自动执行残余液体清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保养效率。
特征：
| Model | LU-A1000 series |
| Liquids supported | TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS |
| Supply method | Pressure movement from He gas |
| Gas supply pressure | For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N2 0.6 to 0.7 MPa (G) |
| Tank | Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range) |
| Operation | Automatic supply/stop using external signal from supply system |
| Operation area display details | Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc. |
| Gas connection | Refer to basic flow |
| Power source | AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA |
| Electricity connection | AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle |
| External dimensions | See external dimensions diagram |
| * Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC. | |
外形尺寸
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