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HORIBA SEC-Z700S系列 新型压力补偿质量流量控制器

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更新时间:2023-02-20 08:03:24浏览次数:165次

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SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。


● 确保 1% 设定点精度(流量≥5%)

● 高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)

● 范围控制广(0.5-99% 满量程)

● 可调响应(300ms≤t≤1000ms)

● 高操作温度(15-60℃)

● 低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)

● 高耐腐蚀性设计


SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

基本特征

多气体/多量程功能,客户可以更改气体类型和满量程流量
稳定控制气流,不受上流和下流压力波动的影响
集成多重显示
超洁净设计:金属隔膜,全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
尺寸紧凑,50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
信号兼容:支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式

主要特征

确保 1% 设定点精度(流量≥5%)
高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)
范围控制广(0.5-99% 满量程)
可调响应(300ms≤t≤1000ms)
高操作温度(15-60℃)
低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)
高耐腐蚀性设计

技术参数:



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