HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列 高温数字式质量流量控制器 返回列表页

• 高精度 ±1.0% 设定点
• 高速响应
• 超洁净设计
• 符合 RoHS 标准

HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 一款用于高温环境下的质量流量控制器

• 高精度和快速的PID响应时间

高精度:±1.0% S.P. 响应时间:<1.0 秒

• 支持模拟式，数字式和DeviceNet通讯模式

模拟式和数字式通讯模式SEC-8000F
DeviceNet通讯模式SEC-8000D

• 超洁净 : 全金属结构
• 兼容150℃烘烤 : 耐高温的特殊流量传感器和阀部件
• 兼容复杂工艺 : 多种纯净气体供给，用于 MOCVD的有机金属材料，

低气压材料，对腐蚀性气体流量控制的理想选择。

技术规格：