概要
高精度/快速响应
多种通讯（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC设计
核心部件日本进口
流量规格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
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高精度/快速响应
多种通讯（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC设计
核心部件日本进口
流量规格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今*的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、无需矫正可任意角度安装。
概要
高精度/快速响应
多种通讯（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC设计
核心部件日本进口
流量规格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
技术参数
| 编号 | 项目 | S48 300/HMT |
| 1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
| 4 | 安装角度 | 任意 |
| 5 | 流量控制范围 | 2%-99%F.S. |
| 6 | 流量测量范围 | 0-99%F.S. |
| 7 | 响应时间 | ≤ 1 sec |
| 8 | 工作环境温度 | 5-50℃ |
| 9 | 精度保证温度 | 15-35℃ |
| 10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
| 11 | 线性精度 | ±0.5%F.S. |
| 12 | 重复性 | ±0.2%F.S. |
| 13 | 工作压差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
| 14 | 耐压 | 3MPa(G) |
| 15 | 泄漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
| 16 | 接触气体材料 | 316L，Viton® 氟橡胶，PTFE |
| 17 | 管路接头 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
| 18 | 供电电源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
| 19 | 设定信号 | 数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ |
| 20 | 流量输出信号 | 数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA |
| 21 | 通讯接口 | 数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15 |
| 22 | 重量(kg) | 0.9 |
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