概要
400μm的X射线光斑，为有害元素的控制提供了高分辨率的扫描分析，适合小到IC集成块单一引脚的分析。同时提供*小光斑—10μm （可选配件）。
SDD检测器*地提高了分辨率和计数率，且无需使用液氮（LN2）
无需任何样品制备或真空--样品仅需要放置在样品室中，即可在正常大气压力下分析。*整合的软件可控制样品的移动，获取数据分析（包括定性和定量分析，并生成成分组成图像）。将样品放在样品祥中后，只需几秒钟，借助直观的“point and click"选择分析位置，即开始抓取数据。
样品观察采用同轴几何呈象，可消除视差，您可以相信，看到的样品即是测量的位置。
仪器装载了两个X射线管，从而使用户能够简单地切换显微和宏观光束，可适用于一系列实验。这些光管传递的高强度光斑确保了*的数据获取时间。而光管的单毛细管设计非常适合高强度的元素成像，甚至对于不平整样品同样有效。
通过自动采样扫描很容易获得XRF面扫描图像，样品下方的第二次信号检测能同时收集X射线透射图像。这项技术可提供额外的结构信息，极有利于对兴趣区域的定位，或了解样本的内部结构。
特征
一台仪器进行多种分析
有害元素的扫描分析
样品位置的简单准确控制
适用于微观尺寸至宏观尺寸的宽范围样品分析
XGT可解决各种分析问题和困难
