压力传感器发展趋势

压力传感器发展趋势

         工业设备在制造过程及整机机能体验中离不开各类机器量和几何量，有些工业设备在运行中还要常常对多种物量进行检测或监督，包含位移、速度、加快度、力、力矩、功率、压力、流量、温度、硬度、密度、湿度、比重、黏度、长度、角度、外形、位置、外表粗拙度、外表波形等，这些均属于物理量。实际出产、生活和科学尝试中还会碰见化学量、生物量（包含医学），而所有这一切，从消息工程的角度来看，都需求经过传感器，将其转换成电消息（近代还可以转换成光消息），尔后再进行消息的传输、处理、存储、展示、节制，从消息的角度看，这些消息连同声音和图像消息都是消息的起源，所以传感器和检测仪表、测量仪表是消息科学技能的3部分（消息获取、消息传输、消息处理）中的重要部分。那么本文主要介绍压力传感器发展。

　　压力传感器是一种把非电量改变成电消息的器件，而检测仪表在模拟电子技能前提下，一般是包含传感器、检测点取样设备及放大器（进行抗干扰处理及消息传输），诚然还有电源及现场展示部分（可选择），电消息一般为持续量、离散量两种，实际上还可分成模拟量、开关量、脉冲量等，模拟消息传输采用同一消息（4-20madc等）。数据化过程中，检测仪表改变比较大，经过几个阶段，近来多采用asic集成电路，并且把传感器和微处理器及网络接口封装在一个器件中，完成消息获取、处理、传输、存贮等功能。在主动化仪表中常常把检测仪表称为变送器，如问题变送器、压力变送器等。

　　压力传感器发展新型半导体材料碳化硅（sic）的出现使得单晶体的高温传感器的制作成为可能。rober.s. okojie报导了一种运行试验达500℃的α（6h） sic压力传感器.实验结果表明,在输入电压为5v ,被测压力为6.9mpa的条件下,23500℃时的满量程输出为44. 66～20. 03mv ,满量程线度为20. 17 % ,迟滞为0. 17%。在500℃条件下运行10h ,性能基本不变,在100℃和500℃两点的应变温度系数（tcgf） ,分别为20. 19 %/℃和- 0. 11 %/℃。这种传感器的主要优点是pn结泄漏电流很小,没有热匹配问题以及升温不产生塑性变型,可以批量加工。ziermann ,rene报导了使用单晶体n型β- sic材料制成的压力传感器,这种压力传感器工作温度可达573k,耐辐射。在室温下,此压力传感器的灵敏度为20. 2muv/ vkpa。