辅光精密仪器(上海)有限公司
晶圆盒对齐器Notchfinder是自动对齐晶片盒
晶圆盒对齐器Notchfinder是自动对齐晶片盒。在对齐过程中,经处理的晶片表面不会接触盒。存储8个角度,一个可自由编程,集成检查模式允许检查晶圆边缘。可用于100、125、150和200mm尺寸的晶片。
晶圆盒对齐器特点
桌面系统
非常紧凑,占地面积315 x 167mm
精确对准+/-1°
一个自由可编程角度0-360°
静电安全
集成控制器
液晶显示器
触发RFID等的输出。。
用于自动化的RS232接口
电源110-230 VAC/50-60 Hz
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