1、检查仪器的稳定性
XRF光谱仪重要的事情是稳定性。电感耦合等离子体需要在分析前进标样，因此测量结果通常与实际数据相差不大。关键是每次分析后相似样品的结果是否一致。如果测量结果高或低，可能会有问题。
2、评估分析的速度
XRF光谱仪通常有两种型号，一种是全光谱型，另一种是扫描型。如果是全光谱，通常是每分钟72个元素。如果是扫描类型，速度相对较慢。目前，除了一些特殊行业，扫描型仍在使用，其他基本上是全光谱。不是扫描类型不好，但与全光谱相比，它在技术上有点落后。

3、看看仪器的波长范围
看看波长范围是否能覆盖你想检测的所有元素的谱线范围，如果能，那就没问题了。
4、提前做好售后服务
购买XRF光谱仪时，还应注意售后服务，因为没有什么仪器永远不会出故障。因此，如果光谱仪出现问题，可以带去制造商那里进行检查和维护，这表明售后服务也非常重要。
5、看看仪器的窗膜和电池
只有仪器的窗口保持完好，电池充足，仪器才能正常使用，否则应及时更检查和更换。