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SF6气体抽真空充气装置在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
SF6气体抽真空充气装置主要功能：
（1）对装置本体以及电器设备，储罐等进行抽真空和真空度测量。
（2）回收电器设备中的SF6气体。
（3）对回收和回充的SF6气体进行干燥净化处理。
（4）给电器开关回充SF6气体。
（5）对SF6气体进行压缩液态存储。
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