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真空滤油机的滤油作用要分为多种类型的过滤。其中固体杂质可以通过滤油纸进行滤除;对于油中的水分和气体，则是通过雾化和抽真空方式;对油进行加热促进水分的蒸发和气体的析出，方便过滤。
真空滤油机的污染物来源主要：
1.系统内部残留：制造或装配过程中残留于系统内部的切屑、焊渣；
2.系统内部生成：元件运动副间磨擦生成的磨屑、内表面锈蚀生成的锈片；
3.系统外部侵入：从油箱口或液压缸活塞杆伸出端进入的尘埃；
4.维修拆装时造成的污染。
针对真空滤油机所受污染，需要在滤油机停止使用时对其进行保养：
1.滤油机停止使用时，应将真空泵内的污油放尽，并保证注入新油。
2.正在运行的真空滤油机需要中断时，应在断开加热电源5min后才能停止油泵运行，以防油路中局部油品受热分解产生烃类气体。
3.真空滤油机的冷凝器，加热器应定期清洁，否则会应影响效率，缩短寿命。
4.室外低温环境工作结束后，必须将真空泵至冷凝器中的存水放干净，以防低温结冰损坏设备。
对于真空滤油机停止使用的间歇期，必须通过对使用的滤油机种类的特性了解，对于不同滤油机做出不同的保养行动，以保证滤油机的正常使用不受影响。
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