青岛佳鼎分析仪器有限公司
SAMCO二手现货ICP刻蚀机RIE-400iP是用于ø4"晶圆的负载锁定型蚀刻系统,可对各种半导体和绝缘膜进行高精度、高均匀性加工
SAMCO二手现货ICP刻蚀机RIE-400iP是用于ø4 "晶圆的负载锁定型蚀刻系统,可对各种半导体和绝缘膜进行高精度、高均匀性加工。采用的龙卷风线圈的电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma)作为放电形式,可产生均匀、高密度的等离子体。另外,可以根据加工材料和加工内容选择合适的等离子体源。
新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"
可高效稳定地应用高射频功率(2千瓦以上),并实现良好的均匀性。
大流量排气系统
排气系统直接连接到反应室,可以实现从小流量和低压范围到大流量和高压范围的广泛工艺窗口。
端点监测
干涉法和发射光谱终点监测仪可用于目标薄膜厚度的终点检测。
易于维护的设计
TMP(涡轮分子泵)已集成在一个单元中,便于更换。
GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度蚀刻。生产半导体激光器和光子晶体。
干涉式端点监测器 可进行高精度的端点检测,并可将蚀刻深度控制在所需深度。
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st123933/
主营产品:实验室分析检测仪器设备,以实验室整体建设为发展方向,从实验室布局设计出图、气路管路施工与装修、仪器设备供应、方法开发建立、人员培训以及运营维护,形成完整的专业实验室建设体系0532-67760023
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