青岛佳鼎分析仪器有限公司
ASMLKrF光刻机PAS5500/850C248nm步进-扫描系统可实现110nm的批量生产
ASML KrF光刻机PAS5500/850C 248nm步进-扫描系统可实现110nm的批量生产。自从PAS5500/850引入以来,PAS5500/850系列已经成为110nm逻辑和110nm内存应用的标准。PAS5500/850C可以配置许多选项,使在制造中实现超低k1,扩展PAS5500/850C的应用远低于110nm。
可变0.8-NA深紫外投影透镜
生产分辨率低至110 nm。
天线II照明器
在吞吐量的照明模式下提供的灵活性。
PAS 5500步进扫描车身
与i-line和193 nm Step和扫描工具的通用性,用于经济混合和匹配。
雅典娜高级校准与十字线蓝色校准相结合
提高了各种工艺的对准精度。随着时间的推移,性能极为稳定。
包括20 W KrF激光技术和可变激光频率控制
将高激光功率与高效利用激光脉冲相结合,实现高吞吐量
激光操作成本。
ARMS批量流式处理
提供连续流程制造
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st123933/
主营产品:实验室分析检测仪器设备,以实验室整体建设为发展方向,从实验室布局设计出图、气路管路施工与装修、仪器设备供应、方法开发建立、人员培训以及运营维护,形成完整的专业实验室建设体系0532-67760023
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