压阻式压力传感器

在传感器行业中，力、温度、流量是应用最为广泛的几种传感器。在当今快节奏的人类社会里，因科学及工程技术的高速发展，在不同的行业技术应用中对经典物理量的监测相比以往都出现了更高的频次和不同维度的应用需求。在本文中，通过对压阻式压力传感器技术、应用、产品的解析，就一些相关原理与概念做一个分享。

压力传感器

在测量上所称“压力”就是物理学中的“压强”，反应物质状态的一个重要参数。在压力测量中，有表压、绝压（绝对压力）、负压、真空度之分。在工业中所用的压力指示值大多为表压，即绝对压力和大气压力的差值，所以绝压就是表压和大气压的和。若测量压力低于大气压，则称为负压或真空度。

测量压力的传感器在工作原理上分为压阻式压力传感器、压电式压力传感器、压磁式压力传感器、电容式压力传感器、霍尔式压力计等。

压阻式压力传感器

半导体应变片式传感器在实际应用中被称为压阻式压力传感器，压阻式压力传感器在早期利用半导体应变片粘贴在弹性体上制成。上世纪70年代后期，研制出了周边固定的力敏电阻和硅膜一体化的扩散型压阻式压力传感器，克服了粘贴带来的滞后、蠕变及固有频率较低和集成化困难的缺点，且把应变电阻条和误差补偿、信号调理等电路集成在一块硅片上。

压阻式压力传感器的主要特点是结构尺寸小、重量轻、易集成，拥有超高的灵敏度和分辨率，适合对微小压力进行检测。但由于它采用半导体硅材料制成，对温度敏感，如不采用温度补偿，温度误差会很大。

压阻式压力传感器应用

由于压阻式压力传感器具备一系列优点，在航天、航海、石油化工、医疗设备、气象、军事装备中都得到了广泛应用。