无电极设计
-低杂物/低消耗成本
使用氮气产生的2-4nm软X射线
-启用台式SXR显微镜应用
等离子体尺寸小
-直径小于1mm的高亮度
经济高效且紧凑
-每SXR瓦特成本低
-占地面积小
Energetiq EQ-10SXR源包括一个19英寸的机架，该机架包含气体子系统，功率传输子系统和控制电子设备；无电极Z-pinch源组件及其集成的真空泵；以及高效脉冲调制器。这种模块化设计可轻松集成EQ-10SXR能够将高达400毫瓦的2.8nm功率提供给2pi球面弧度，并能够以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了适应各种应用的不同要求，源工作条件是用户可调的。可以根据用户要求针对峰值功率或峰值亮度优化光输出。在典型的操作条件下，等离子体的直径通常小于1mm。
在无电极SXR源组件的正面为用户提供了一个简单而灵活的光学接口，以连接到应用设备。自定义界面可满足特定的客户要求。用户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。EQ-10SXR易于安装，仅需电源，冷水供应，清洁的干燥压缩空气和高纯度氮气即可。
参数：
用于水窗显微镜和6.7nm研发的软X射线源
气体选择：使用的NIST光谱数据库
相对强度高的搜索线：只有出现的气体是氖气
操作参数
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr