产品型号：ATLEX-500-I
关键字：ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I
关键字描述：ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比应用而设计。
产品介绍：
软电晕预电离
高压固态脉冲发生器
激光头体积<3l
TMC（全金属陶瓷）容器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷，主动热管理
RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成
可冲洗光学支架
能量稳定模式
新一代紧凑型风冷，高重复频率的准分子激光器，专为中低占空比应用而设计。
参数：
气体介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
波长 nm | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 |
高压开关技术 | 固态开关 | ||||
重复率max. Hz | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 |
脉冲能量max. mJ | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 |
平均功率max. W | 500 | ||||
脉冲持续时间 ns | 5-8 | ||||
光束尺寸（V x H） mm | 4 x 6 | ||||
光束发散角（V x H）mrad | 1 x 2 | ||||
能量稳定性（标准偏差）% | < 3 | ||||
尺寸（长x宽x高）mm | 540 x 470 x 370 | ||||
重量 kg | 60 | ||||
冷却 | 冷却空气/可选液体 | ||||
电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz | ||||
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