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AEROTECH空气轴承直驱旋转平台--ABRS

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产品型号:

品       牌:其他品牌

厂商性质:经销商

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更新时间:2022-03-08 10:05:09浏览次数:269

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产地 进口 加工定制
天津瑞利光电科技有限公司优势经销AEROTECH空气轴承直驱旋转平台--ABRS
产品型号:ABRS150MP

天津瑞利光电科技有限公司优势经销AEROTECH空气轴承直驱旋转平台--ABRS
产品型号:ABRS150MP
AEROTECH空气轴承直驱旋转平台--ABRS
关键字描述:Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。
产品介绍:
直接驱动,无槽,无刷伺服电机
零齿槽电机, 速度稳定性
误差运动和摆动性能
直联式高精度旋转编码器
薄型平面设计
没有机械接触
Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查,高精度计量,X射线衍射系统,光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。

机械设计
ABRS设计具有大的空气轴承表面,具有很高的刚度和承载能力,不仅产生 轴向和径向误差运动,而且产生 的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴, 受益于需要 平面性能的应用。
无刷直驱
为了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计,可产生高扭矩输出,而产生的热量 少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。
准确定位
光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时,分辨率可达到<0.03弧秒。
定制设计
定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。
参数:
宽度:150 mm
桌面直径:128.1 mm
高度:80 mm
孔径:8 mm
总行程:360°连续

双向重复性:<2弧秒
负荷
轴向:8 kg
径向:4 kg
倾斜:3 N-m
轴向误差运动(同步):<175 nm
径向误差运动(同步):<450 nm
倾斜误差运动(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)
轴向误差运动(异步):<20 nm
径向误差运动(异步):<20 nm
倾斜误差运动(异步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)
工作压力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)
空气消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)
材料:铝
表面:硬涂层(62洛氏硬度)
惯性卸载:3850 kg-mm2
总质量:4.8公斤
天津瑞利光电创立以来一直秉承'以诚兴业,共存共荣'的经营理念,视客户与伙伴为挚友,视员工为公司的宝贵财富,团结一致,开拓创新,勇于打破行业发展瓶颈,逐步构建并扩大公司在自动化领域的全球一体化供销网络与服务中心。


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