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NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统

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更新时间：2020-03-26 10:02:00浏览次数：214次

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产品简介

产地	国产	加工定制	是

NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统
带有水冷或者加热（zui高可加热到700度）功能，zui大到6“旋转平台，zui大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

详细介绍

NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(zui高可加热到700度)功能，zui大到6"旋转平台，zui大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3500（A）带有14"立方形不锈钢腔体，3个2"的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统产品特点：