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如何判断工业炉真空系统故障呢？工业炉在重工业有着非常广泛的应用，但是随着使用年限的加长以及人为操作的原因，经常发生工业炉的故障，而这些故障又是非常难以发现的，如果故障不及时处理，会严重影响工业品的质量及对环境造成非常严重的影响，因此本文就简单介绍工业炉真空系统故障应当如何检测。
一、扩散泵抽气能力的判断方法，正常操作设备，依次开启机械泵和罗茨泵，当炉内真空压力可以达到扩散泵的启动条件，扩散泵就可启动。如果扩散泵开启一段时间后，炉内极限真空压力不能达到工艺要求，则扩散泵有问题。
二、机械泵、罗茨泵抽气能力的判断方法，首先关闭图1中的主路阀和旁路阀。然后单独开启机械泵，一段时间后读取管路中极限真空压力数值，对比说明书上机械泵出厂的极限压力指标，即可判断出泵的性能好坏。同样关闭图1中的主路阀和旁路阀。
三、真空泵的判断方法，如果系统不漏气，那有可能就是真空泵坏了，但在进行真空泵检测前，先看一下泵油的情况，如果油浑浊或已经氧化变质，就先换油再试。
四、真空室或管路漏气的判断方法，首先测定并计算“升压率”，如果升压率低于设备允许值 (例如：要求<0.667Pa/h)，可以认为炉子不漏气，反之漏气。漏气可以应用检漏仪检漏。
五、罗茨泵测试方法，极限压力和抽气速率的计算方法，与机械泵相同。但需要注意测试条件：扩散泵加热功率及冷却条件应符合泵的规定;扩散泵油种类、牌号和用量以及配用前级泵均应符合泵的规定。
六、抽气速率测量法，采用定压法测泵的抽气速率S。从试验罩流过的气体流量Q(观察流量计)与规定位置上的平衡压力p(略高于极限压力的适当值)的比值，即：S=Q/p (L/s)。
工业炉在工业体系中有着非常广泛的应用，但是在实际的工作中，由于各种原因而会发生故障，因此电力工作者在实际工作中，需要对工业炉进行精心维护，发现故障后及时排查并且做好相应的记录，保障工业生产的有序进行。
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